De WF6 wurdt benammen brûkt as rau materiaal foar it gemyske dampôfsettingsproses (CVD) fan metaalwolfraam yn 'e elektroanika-yndustry. WSi2 makke fan WF6 kin brûkt wurde as bedradingsmateriaal yn grutskalige yntegreare circuits (LSI), en kin ek brûkt wurde as rau materiaal foar healgeleiderelektroden, fluor, grûnstoffen foar gemyske aginten, polymerisaasjekatalysatoren, optyske materialen, ensfh.