De WF6 wurdt benammen brûkt as grûnstof foar it proses fan gemyske dampdeposysje (CVD) fan metalen wolfraam yn 'e elektroanyske yndustry. WSi2 makke fan WF6 kin brûkt wurde as wiring materiaal yn grutskalige yntegrearre circuits (LSI), en kin ek brûkt wurde as grûnstof foar semiconductor elektroden, fluor Raw materialen foar gemyske aginten, polymerization katalysatoren, optyske materialen, etc.